X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)
یا طیف‌سنجی فوتوالکترون با اشعه ایکس، یک تکنیک تحلیلی است که برای مطالعه ترکیب شیمیایی و
حالت الکترونی سطوح مواد به کار می‌رود. در این دستگاه، اشعه ایکس به سطح نمونه
برخورد می‌کند و الکترون‌های برانگیخته از نمونه خارج می‌شوند. انرژی جنبشی این
الکترون‌ها اندازه‌گیری شده و اطلاعاتی درباره عناصر و حالت‌های شیمیایی سطح نمونه
به دست می‌آید.
یک دستگاه XPS شامل اجزای زیر است:
- منبع اشعه ایکس: که اشعه ایکس تولید کرده و آن را به سمت نمونه هدایت می‌کند.
- محفظه نمونه: جایی که نمونه تحت خلاء بالا قرار می‌گیرد تا تابش اشعه ایکس بر آن انجام شود.
- آنالیزور انرژی: دستگاهی که انرژی جنبشی الکترون‌های خروجی از نمونه را اندازه‌گیری می‌کند.
- آشکارساز الکترون: بخشی که الکترون‌های خروجی را شناسایی و شمارش می‌کند.
- سیستم خلاء: برای حفظ شرایط خلاء بالا در محفظه نمونه.
- سیستم رایانه‌ای: برای جمع‌آوری داده‌ها و تجزیه و تحلیل نتایج.